Počkejte prosím chvíli...
Nepřihlášený uživatel
iduzel: 30011
idvazba: 38199
šablona: api_html
čas: 20.9.2017 05:43:05
verze: 3813
uzivatel:
remoteAPIs: https://cis-web-test.vscht.cz/studijni-system/
branch: trunk
Obnovit | RAW

Technologie a vlastnosti tenkých vrstev, tenkovrstvé sensory

Přednáška Cvičení/laboratoř
2016, letní semestr
6
7
8
9
10
11
12
13
14
15
16
17
18
19
20
21
Po
Út
St
Čt
Kredity 6
Rozsah 3 / 1 / 0
Examinace Z+Zk
Jazyk výuky čeština
Úroveň bakalářský předmět
Garant Ing. Přemysl Fitl, Ph.D.
Ing. Dušan Kopecký, Ph.D.
prof. Ing. Dr. Martin Vrňata

Anotace

Předmět zahrnuje dvě oblasti: (i) seznamuje studenty s technologiemi vytváření tenkých nanostrukturovaných vrstev vakuovými technologiemi i "mokrou cestou"
a následným vertikálním i horizontálním patterningem těchto vrstev, (ii) demonstruje využití takových vrstev v senzorice v závislosti na jejich elektrofyzikálních
a optických parametrech

Sylabus

1. Mikro- a nanovrstvy: perspektivy, vlastnosti (vliv složení, struktury, tloušťky, technologie)

2. Úvod do vakuových technologií, pojem vakuum, střední volná dráha, vakuové napařování

3. Katodové naprašování (diodové, nízkotlaké, vysokofrekvenční), měření tloušťky

4. Magnetronové, reaktivní a iontové naprašování, nanovrstvy, iontová implantace

5. Technologie CVD, PVD, PECVD, MOVPE, MBE, coating technologie (spin-, spray-, dip-)

6. Laserové depoziční metody, interakce záření, PLD, MAPLD, MAPLD-DW, MAPLD-RIR

7. Litografie, litografická maska, pozitivní a negativní rezist, metoda přímého psaní

8. Optické vlastnosti, antireflexní povlak, interference, holografie, elipsometrie, vlnovody

9. Vodivostní senzor plynů, princip a aplikace, porovnání s klasickými analyzátory

10. Polovodičové materiály pro senzory, vliv dopantů a vakancí, Schottkyho přechod

11. Tenkovrstvý vodivostní senzor, náhradní schéma, Debyova délka, interakce s plyny

12. Příprava tenkých vrstev technologií ink-iet, mechanismy nanášení, ink-jet: tiskárny

13. Mikrosenzory připravené technologií ink-jet, multistruktury, tištěné elektronické nosy

14. Tenkovrstvé senzory na bázi QCM, popis rezonance, Sauerbreyova rovnice

Cvičení:
Exkurse do Fyzikálního ústavu AV ČR, ukázky špičkových technologických zařízení

Literatura

Z: W.A. Goddard, D.W.Brenner, S.E. Lyshevski, G.J. Iafrate (eds.): Handbook of Nanoscience, Engineering and Technology, CRC Press 2007, ISBN 0-8493-7563-0
D: I. Hüttel: Technologie materiálů pro elektroniku a optoelektroniku, skripta VŠCHT Praha, 2000
D: M. LIBRA: Vakuum - technologie moderní doby. ELEKTRO, 2003

VŠCHT Praha
Technická 5
166 28 Praha 6 – Dejvice
IČO: 60461373
DIČ: CZ60461373

Datová schránka: sp4j9ch

Copyright VŠCHT Praha 2014
Za informace odpovídá Oddělení komunikace, technický správce Výpočetní centrum

VŠCHT Praha na sociálních sítích
zobrazit plnou verzi